Femtika Laser Nanofactory MPP 多光子聚合
多光子聚合介绍:多光子聚合(MPP:Multiphoton-polymerization)是一种能够在亚微米分辨率下生产任意形状聚合物结构的3D打印技术。首先,通过在载玻片上滴注与光引发剂混合的聚合物材料,然后预烘焙,制备光致抗蚀剂样品。然后,使用激光直写技术来制造3D微结构。因此,由于一种称为光聚合的过程,聚合物在受到激光辐射影响的下落处硬化。最后,将微结构浸入有机溶剂中以显影未聚合的光致抗蚀剂。MPP通常用于微电子器件的制造,因为它允许创建非常小的以及高精度的详细结构。此外,由于光线高度聚焦,因此可用于创建复杂的3D形状。设备参数技术增材制造(Additive manufacturing)材料SZ2080,SU-8,Ormocers, Glassomer,hybrid organic-inorganic材料photopolymers, elastomers, proteins最小XY特征尺寸150 nm最小表面粗糙度Ra≤20 nm最大制造速度30 mm/s(3)优势亮点:●纳米分辨率增材制造技术●微米级的真实3D结构●可提供各种聚合物●缝合无错误制造
Femtika Laser Nanofactory SLE 选择性激光刻蚀
Femtika Laser Nanofactory SLE 型号是专注于透明脆性材料尤其是玻璃内部三维微结构制造的飞秒激光减材设备,主要采用飞秒激光诱导改性与化学蚀刻相结合的工艺路线,实现对熔融石英、硼硅酸盐玻璃等材料的高精度三维刻蚀
飞秒激光器是一种非常通用的工具,可以用于各种不同的微加工工艺。每个工艺对激光、光束传输或材料参数都有对应的要求。我们的激光纳米工厂工作站允许复合制造,这意味着不同的工艺都由相同的设备支持。我们最常用的两种工艺是多光子聚合和选择性玻璃蚀刻,但这远不是全部!通过精确调整其参数,同一台机器能够执行更多的过程
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