产品介绍

设备参数

规格 :100ML

克服了普通光刻胶采用 UV 光刻深宽比不足的问题,在近紫外光(365nm-400nm) 范围内光吸收度很低,且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性:在受到紫外辐射后发生交联,是一种化学扩大负性胶,可以形成台阶等结构复杂的图形;在电镀时可以直接作为绝缘体使用。

SU-8 3005 系列光刻胶是负性光刻胶,采用环戊酮溶剂配制而成,在超厚度胶膜涂布工艺中,图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率,其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛,单次旋涂工艺胶膜厚度可选0.5-300um 范围,可根据需要进行多次旋涂,从而获得更厚的胶膜。

 

参数

SU-8 3005单次旋涂膜厚范围 6-10um
气动雾化器 雾化器
PI、玻璃 基材

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墨水耗材手册

设备所使用材料完全开源,既可以购买成熟商业品牌材料,也可以自行配制材料,详情可咨询本地经销商。

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